裝置將 13.560MHz 射頻源加至反應室外的電感線圈 , 用電感耦合方式激勵氣體 , 使其放電產生等離子體 . 這種方式具有放電效率高、無電極放電污染的特點 , 并可以獲得純凈的等離子體 . 裝置適合大學物理、材料、化學等領域科學研究之用。

實驗內容

1、等離子體消毒滅菌實驗 , 如大腸桿菌 (8099)、金黃色葡萄球菌 (ATCC6538)；

2、等離子體材料表面改性實驗 , 如紙張親水性、紙張接觸角；

3、等離子體材料表面清洗實驗；

4、等離子體聚合實驗。

主要技術參數

1、等離子體腔體體積：φ140mm×（H）155mm；

2、射頻功率： 0 ～ 500W；頻率：13.560MH Z ；

3、工作氣壓： 20 ～ 200Pa（建議工作在 100 Pa 以下）；

4、反應腔本底真空： ≤ 5Pa；

5、反應腔極限真空： 1×10 -1 Pa；

6、等離子體電子溫度： 1 ～ 8Ev；

7、流量控制器： 0 ～ 1000sccm；

8、工作電壓： AC220V±5% 50Hz；

9、整機功率： ≤ 1.5KW；

10、整機重量： 約 100Kg；

11、外形尺寸： 長 650× 寬 610× 高 1000mm。