微波源產生 2.45GHz 的電磁波，沿矩形波導管傳輸，在諧振腔內的微波天線及其噴嘴正上方的波導開孔處擊穿氣體放電，產生常壓微波射流（MPJ）。裝置可開設分解處理各種廢氣制備納米材料、MPJ 材料加工等實驗。適合大學物理、材料、化學等領域科學研究之用。

主要實驗內容

1、MPJ 分解處理各種廢氣（如 SO 2 、NOx、有機硅、甲醛、含苯環的烴類等）；

2、MPJ 制備納米材料（如納米碳管、ZnO、Al 等）；

3、MPJ 材料表面清洗及改性、MPJ 材料加工等實驗；

4、MPJ 光譜分析（需配備光譜儀）。

主要技術參數

1、微波功率：0 ～ 800W 連續可調輸出；

2、微波頻率：2.45GHz；

3、微波傳輸模式：BJ26 波導沿 TE10 模式傳輸；

4、工作氣壓：1 ～ 1.1 大氣壓；

5、兩路工作氣源，一路可帶液態氣；

6、質量流量控制器：0 ～ 500sccm（可選）；

7、自帶循環冷卻水裝置，水溫控制范圍 10 ～ 30℃；

8、水箱容量：30L；

9、等離子體電子溫度：0.1-3eV；

10、陽極電流測量范圍：0 ～ 300mA；

11、供電電源：AC220V，50Hz；整機功率 2KW。