實驗目的：

1、了解最基本的真空系統的結構，掌握真空系統的操作方法； 

2、了解真空技術的基本知識，學習真空系統的基本方程； 

3、掌握高真空的獲得、測量的基本原理及方法； 

4、機械泵抽速測定； 

5、擴散泵抽速測定； 

6、系統漏率的測定。

設備組成：

1、實驗儀主要由真空儲氣瓶、玻璃油擴散泵、真空測量儀表、高真空閥門、流導調節管、電控系統等組成。

2 、設備的真空室、 由擴散泵、真空管路部件均可視化設計； 

3、電氣控制有安全防護，防止誤操作對人員和設備造成損傷； 

4、采用不銹鋼、真空波紋管結合管路，閥門為 316L 不銹鋼高壓雙卡套球閥；

技術參數：

1、真空儲氣瓶： 304 不銹鋼，

尺寸：約 φ200 x 480mm （以實際設計為準）；容積約 15L 

2、真空測量：數顯復合真空計；電阻規＋電離規測壓范圍： 1xE5~1xE-5 Pa  數量： 2套

3、真空系統： DRV10 雙極旋片泵＋四級玻璃擴散泵， 擴散泵需水冷； 

4、極限真空： 5xE-3 Pa; 

5、3 組流導調節管路，組成三種不同的抽氣流導， 

6、工作電源： AC220V ± 5%50Hz; 

7 、整機功率： 2kW 

8、用戶需自備或另購工業水冷機組 

9、機架：鋁合金型材機架。